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MASK清洗設(shè)備

本設(shè)備是將Mask玻璃收納至獨(dú)創(chuàng)的籃子(Cassette)上，經(jīng)過SPM和中性洗劑+US清洗，溫水吊起進(jìn)行干燥。

025-57255189
參數(shù)描述

1.輸送方向：左left→右light
2.處理速度：裝盒1套(大2張/小4張)
指揮棒：約20min
3.passline：400mm(LD.ULD)
4.工程:


5.基板Mask：min 9”×9”~ max 24”×24”
6.本體尺寸(材質(zhì))：PVC卷(象牙色)...8000w × 2350d × 2600h (2900H) 架臺(tái)...sus304產(chǎn)
7.控制：recipe...30 recipe :TP...tft collar :PLC...三菱制造

1.輸送方向：左left→右light
2.處理速度：裝盒1套(大2張/小4張)
指揮棒：約20min
3.passline：400mm(LD.ULD)
4.工程:


5.基板Mask：min 9”×9”~ max 24”×24”
6.本體尺寸(材質(zhì))：PVC卷(象牙色)...8000w × 2350d × 2600h (2900H) 架臺(tái)...sus304產(chǎn)
7.控制：recipe...30 recipe :TP...tft collar :PLC...三菱制造

外觀圖